了解如何快速上手 真空成膜上位机的操作 .

真空成膜上位机操作文档

一、目录

1.生产：监控各部位运行情况，查看当前工艺时间，执行工艺操作。

2.设备：获取设备信息，手动控制设备运行，监控设备参数

3.日志：监测设备实时运行状态，查询之前时间报警的具体内容

4.软件：可执行调整工艺，采集数据，管理用户权限等操作

二、生产界面

1.生产界面

1.生产界面:可进入生产界面进行操作。

2.生产工艺监控界面：可观察工艺执行的时间。

3.自动模式：系统能够自动执行一系列预设的操作。

4.按下后需手动点击软件后可解除，需初始化后才可工艺启动，按下暂停后当前工艺不会停止，需完成当前步骤后才可停止。

5.急停:点击后可立即停止。

6.初始化：点击后可进行初始化操作。

7.关闭腔体：点击后腔体开始关闭。

8.做工艺：手动点击后开始制作工艺。

9.打开腔体：手动点击后打开关闭的腔体。

10.保压关机：点击系统关闭之前保持一定的压力。

2.参数界面

参数设置:执行工艺前手动开启各阀门，配置工艺参数

三 、设备界面

1.手动点动界面

主轴：可主轴进行手动点动操作

定位参数：可对位置进行定位，定位移动速度，回原速度操作，也可回原点

2.轴动状态界面

轴添加：添加或更换轴组件

保存配置：将添加或者更换的轴组件进行保存

3.IO监控界面

输出点添加：在界面中配置一个新的信号输出，以便控制和操作。

输入点添加：在界面中配置一个新的信号输入，以便接收和处理外部信息。

保存配置：将配置好的信号进行保存

4.扩展监控界面

监控值添加：在界面中添加用于监控和控制的参数。

5.警报监控

警报监控添加：: 对监控值设定阈值，当实际值超出这些阈值时，系统会发出警报

6.板卡配置界面

控制器连接：指控制器与真空成膜设备进行连接

点位文件导入：将预先定义的点位信息（如输入点、输出点、监控值等）从外部文件导入到系统中

四、日志

日志详情：可监测设备实时运行状态

日志检索：可查询之前时间报警的具体内容