了解如何快速上手 实验室真空蒸镀上位机的操作 .

实验室真空蒸镀设备操作文档

一、生产页面

软件打开首先会自动到生产页面，如下图：

1.左上角的小黑框里会显示抽真空是设备各个阀门和泵及真空值和时间

2.中右上角显示清洗总次数；和在清洗时的清洗次数（非清洗时不显示）

3.中间的设备监控会显示显示设备各个阀门，泵的状态和气压值

右边和下边区域是控制按钮

4.抽真空：一键抽真空，可将设备抽到10的-4次方

5.取料：破除设备的压强，打开开舱门添加或者更换蒸发的材料和取下玻璃片

6.关机：关闭设备的所有阀门和泵，并进行保压

7.氮气清洗：用氮气循环清洗设备腔体

8.急停：停止当前工艺

9.暂停：暂停当前工艺

10.复位：复位超时工艺

二、生产控制

1.显示各个膜厚仪的实时速率和实时累计膜厚并可通过曲线下部的按钮控制显示某个特定膜厚仪的速率和累计膜厚

2.蒸发源监控，这里可打开对应的膜厚仪，电源，并实时监控膜厚仪的速率，累计膜厚和电源电压，电流及功率

3.电机控制处，可控制电机的转速，方向和启停

4.选择蒸发的材料，也可以自定义蒸发的材料，通过保存按钮进行设置，设置成功后到膜厚仪信息页面查看膜厚仪对应的值是否设置成功

三、膜厚仪信息

1.页面上部分显示各个膜厚仪的各类信息

2.可通过选择时间来查看对应时间的膜厚速率，累计膜厚的时间曲线和电源的时间曲线，可通过每个曲线上方的按钮选择查看对应膜厚仪/电源的对应的信息曲线

四、手动操作

1.手动操作页面的点动控制部分可以控制设备所有泵和阀门，正常情况下请勿操作

2.轴动控制设备的轴进行运动

五、配方管理

1.新建配方：可添加一个新的配方

2.保存配方：保存当前的配方

3.页面中间显示设备上的各个配方

4.删除：删除对应的配方

5.配方导入：导入配方

6.配方导出：导出对应的配方

六、日志

在日志详情中显示设备运行的各个状态的实时日志信息

在日志检索页面可通过选择时间、报警值、报警描述来搜索对应的日志信息，来查看设备状态