了解如何快速上手 实验室磁控溅射上位机的操作 .

实验室磁控溅射设备操作文档

一、生产

1.生产页面

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1.抽真空:点击后设备会自动运行,会进行到真空值0.005pa,达到工艺运行条件

2.开始工艺:开始工艺，需提前设置需要的参数，设置后点击可自动进行工艺流程

3.关机:点击后可关闭所有阀门和设备,进行保压

4.放料:会关闭流量计、插板阀、前级阀、预抽阀等设备，前级阀和机械泵、罗茨泵不会关闭

5.急停:按下后急停当前所做的工艺流程

6.暂停:暂停当前所做的工艺、不会进行下一步程序

7.复位:可进行消除超时复位

8.该界面显示设备的所有的阀门的开关状态（绿色为开），泵的启停状态，各个低真空，高真空，基片电机的速度，运行时间，分子泵转速等信息

2.参数设置

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一.手动控制

1.机械泵启停:点击后可手动进行机械泵的开启和停止(绿色为开)

2.罗茨泵启停:点击后可手动进行罗茨泵的开启和停止(绿色为开)

3.预抽阀:点击此阀门可手动进行预抽阀的开启和停止(绿色为开),是连接机械泵和腔体的连接阀门

4.前级阀:点击此腔门可手动进行前级阀的开启和停止(绿色为开),是连接前级阀和分子泵之间的阀门

5.分子泵启停:点击后可手动进行分子泵的开启和停止(绿色为开)

6.插板阀:点击此阀门可手动进行插板阀的开启和停止(绿色为开),是连接腔体和分子泵之间的阀门

7.挡板一:点击后可移动挡板一的打开和关闭(绿色为开)

8.挡板二:点击后可移动挡板二的打开和关闭(绿色为开)

9.挡板三:点击后可移动挡板三的打开和关闭(绿色为开)

10.挡板四:点击后可移动挡板四的打开和关闭(绿色为开)

11.泄压阀:点击此阀门可手动进行泄压阀的打开和关闭(绿色为开),打开后可腔体真空值达到大气压状态

12.直流电源:点击后可打开直流电源的开关(绿色为开)

二、参数设置

1.氩气流量:这里可设置氩气需要流通的流量,单位SCCM

2.氧气流量:这里可设置氧气需要流通的流量,单位SCCM

3.混合气流量:这里可设置混合气需要流通的流量,单位SCCM

4.等待电源开始时间:这里可设置电源等待开始的时间,单位为S

5.电机旋转速度:这里可设置电机每分钟旋转多少转,单位为(r/min)

6.基片电机运行时间:这里可设置基片电机运行旋转的时间,单位为(min)

7.电机旋转方向:这里可设置电机旋转的方向是正转还是反转

8.保存:在参数设置完以后,需要进行点击保存

9.是否显示靶枪选择界面:点击后可选择是否在点击工艺运行时显示靶枪页面

3.监控页面

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监控页面:这里可以实时检测到腔体当前的真空值

二、配方管理

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1. 新建配方：在点击新建配方后会将当前的工艺参数生成一个以当前时间为名称的文件保存到本地

2. 保存配方：可以选择新建的配方在点击保存后将参数保存到本地数据库（需要重启程序）

3. 配方导入：可点此按钮可将bdt文件导入

4. 配方导出：可点此按钮进行配方导出生成bdt文件

三、日志

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日志详情：可监测设备实时运行状态

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日志检索:可查询历史报警状态