# 实验室RTA退火设备上位机操作文档


了解如何快速上手 **RTA退火设备**的操作 . 

# RTA退火设备操作文档

## 一、目录

![图片1](图片1.png "图1-1")

1.生产：监控各部位运行情况，查看当前工艺时间，执行工艺操作。

2.可以查看工艺步骤，工艺参数，配方保存、导入、导出等功能。

3.设备：获取设备信息，手动控制设备运行，监控设备参数

4.日志：监测设备实时运行状态，查询之前时间报警的具体内容

## 二、生产界面

### 1.生产界面

![图片2](图片2.png "图2-1")

1.生产界面:可进入生产界面进行操作。

2.当前温度：设备当前的温度状态。

3..复位:按下后可进行复位。

4.暂停：按下后需手动点击软件后可解除，需初始化后才可工艺启动，按下暂停后当前工艺不会停止，需完成当前步骤后才可停止。

5.急停:点击后可立即停止。

6.升腔盖：腔体的上盖被打开的状态。

7.关腔盖：腔体的上盖被关闭的状态。

8.循环加热退火：在特定的温度范围内，反复进行加热和冷却

9.设备关机：点击后将程序进行关闭

### 2.参数界面

参数设置:执行工艺前手动开启各阀门，配置工艺参数

![图片3](图片3.png "图2-2")

## 三、工艺界面

![图片4](图片4.png "图3-1")

### 3.1参数页面

1.工艺下拉框

2.参数配置页面

3.保存工艺参数配置到data文件按钮

4.添加参数

![图片5](图片5.png "图3-2")

### 3.2工序页面

1.工艺运行测试按钮

2.其他按钮功能同上

![图片6](图片6.png "图3-3")

### 3.3配方管理

![图片7](图片7.png "图3-4")

1.当前配置新建配方保存在本地

2.更新当前配方到本地

3.本地配方预览

4.将本地配方导入程序

5.当前程序配方导出

## 四、设备界面

### 1.手动点动界面

![图片8](图片8.png "图4-1")

腔体：可腔体进行手动点动操作

定位移动：可对位置进行定位，定位移动速度，回原速度操作，也可回原点

### 2.轴动状态界面

![图片9](图片9.png "图4-2")

轴添加：添加或更换轴组件

保存配置：将添加或者更换的轴组件进行保存

### 3.IO监控界面

![图片10](图片10.png "图4-3")

输出点添加：在界面中配置一个新的信号输出，以便控制和操作。

输入点添加：在界面中配置一个新的信号输入，以便接收和处理外部信息。

保存配置：将配置好的信号进行保存

### 4.扩展监控界面

![图片11](图片11.png "图4-4")

监控值：在界面中添加用于监控和控制的参数。

### 5.警报监控

![图片12](图片12.png "图4-5")

警报监控: 对监控值设定阈值，当实际值超出这些阈值时，系统会发出警报

### 6.板卡配置界面

![图片13](图片13.png "图4-6")

控制器连接：指控制器与真空成膜设备进行连接

点位文件导入：将预先定义的点位信息（如输入点、输出点、监控值等）从外部文件导入到系统中

## 五、日志

![图片14](图片14.png "图5-1")

日志详情：可监测设备实时运行状态

![图片15](图片15.png "图5-2")

日志检索：可查询之前时间报警的具体内容