了解如何快速上手 RTA退火设备的操作 .

RTA退火设备操作文档

一、目录

1.生产：监控各部位运行情况，查看当前工艺时间，执行工艺操作。

2.可以查看工艺步骤，工艺参数，配方保存、导入、导出等功能。

3.设备：获取设备信息，手动控制设备运行，监控设备参数

4.日志：监测设备实时运行状态，查询之前时间报警的具体内容

二、生产界面

1.生产界面

1.生产界面:可进入生产界面进行操作。

2.当前温度：设备当前的温度状态。

3..复位:按下后可进行复位。

4.暂停：按下后需手动点击软件后可解除，需初始化后才可工艺启动，按下暂停后当前工艺不会停止，需完成当前步骤后才可停止。

5.急停:点击后可立即停止。

6.升腔盖：腔体的上盖被打开的状态。

7.关腔盖：腔体的上盖被关闭的状态。

8.循环加热退火：在特定的温度范围内，反复进行加热和冷却

9.设备关机：点击后将程序进行关闭

2.参数界面

参数设置:执行工艺前手动开启各阀门，配置工艺参数

三、工艺界面

3.1参数页面

1.工艺下拉框

2.参数配置页面

3.保存工艺参数配置到data文件按钮

4.添加参数

3.2工序页面

1.工艺运行测试按钮

2.其他按钮功能同上

3.3配方管理

1.当前配置新建配方保存在本地

2.更新当前配方到本地

3.本地配方预览

4.将本地配方导入程序

5.当前程序配方导出

四、设备界面

1.手动点动界面

腔体：可腔体进行手动点动操作

定位移动：可对位置进行定位，定位移动速度，回原速度操作，也可回原点

2.轴动状态界面

轴添加：添加或更换轴组件

保存配置：将添加或者更换的轴组件进行保存

3.IO监控界面

输出点添加：在界面中配置一个新的信号输出，以便控制和操作。

输入点添加：在界面中配置一个新的信号输入，以便接收和处理外部信息。

保存配置：将配置好的信号进行保存

4.扩展监控界面

监控值：在界面中添加用于监控和控制的参数。

5.警报监控

警报监控: 对监控值设定阈值，当实际值超出这些阈值时，系统会发出警报

6.板卡配置界面

控制器连接：指控制器与真空成膜设备进行连接

点位文件导入：将预先定义的点位信息（如输入点、输出点、监控值等）从外部文件导入到系统中

五、日志

日志详情：可监测设备实时运行状态

日志检索：可查询之前时间报警的具体内容