了解如何快速上手 融捷真空蒸镀上位机的操作 .

融捷真空蒸镀页面操作文档

一、生产页面

图片1-1

观察显示区域：

图片1-2

图1-2红框所示：

1.表示显示设备实时运转状态，以及会有真空变化记录。

自动化按钮控制区域：

图片1-3

图1-3红框所示：

1.复位：表示如果报警，设备可以通过复位来解决设备超时，设备报警。

2.暂停：在自动流程中点击暂停可以停止当前自动流程，再次点击后可以继续流程。

3.右侧是生产的四大功能：抽真空、放料、关机、氮气清洗（清洗次数根据设定值）。

功能

二、手动操作

图片2-1

点位控制区域：

可以手动控制对应阀门的开关，蓝色为关，绿色为开

工艺参数设置区域：

可对参数自定义阻抗、密度、比例、工艺真空值进行参数设置，设定完成后点击保存

轴动控制：

点击后进行设备轴的手动点动，可实时显示当前位置信息，进行正传和反转，速度可自主调节

蒸发源设置：

可对蒸发源进行自主选择，对要使用的蒸发源可选择运行状态，对不用的蒸发源选择待机状态

三、生产控制

图片3-1

膜厚速率监控区域：

可实时监测膜厚仪的速率检测并显示曲线图中

膜厚累计监控区域：

可实时监测膜厚仪的累计监控检测并显示曲线图中

蒸发源监控区域：

可对6个蒸发源对应的监测实时功率、电流、电压、膜厚仪速率,可以控制开关膜厚仪1-6的监控

功率控制区域：

1.电源气缸开启和关闭：会打开选择膜厚仪上方对应的气缸的开启和关闭

2.蒸发源电流控制：可以输入电流，或者根据电流寸动进行电流调整，设置好电流后按下回车键会弹出提示框进行电流的发送。之后有翻版按钮，可以控制翻版的开关。

3.基片电机：可以根据设置的基片电机速度、方向进行基片电机的启停。

4.可以设置膜厚仪监测的镀膜类型。

阶段性加热区域：

阶段性加热:可设置电流的大小，时间多少秒，执行状态是否可以执行(如果时间设为0,代表一直执行)

四、膜厚仪信息

图片4-1

膜厚仪信息区域：

可检测六个膜厚仪的速率，膜厚累计，频率输出，晶振片寿命，修改比率，密度，声波阻抗，原材料编号。

查询区域：

可以根据选择日期来查询膜厚仪速率、累计，电源的电流、电压的曲线。