# 融捷磁控溅射上位机操作文档

了解如何快速上手 **融捷磁控溅射上位机**的操作 .

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#                                               融捷磁控溅射页面操作文档

## 1.生产页面

![生产页面](./生产页面.png)

<center>图片1-1</center>

1.复位:可以消除警报和复位超时判断。

2.暂停:点击后可暂停当前工艺步骤，再次点击即可复位。

3.工艺结束:点击后可结束工艺。

4.抽真空、根据参数设置的开始工艺、设备需要关机时点击关机、放料按钮负责取放料。

### 2.参数设置

![参数设置](./参数设置.png)

<center>图片2-1</center>

#### 点位控制

可以手动控制设备，开启时为绿色，关闭为蓝色

#### 参数设置

可以设置氩气流量、氧气流量、混合气流量、电机旋转速度、电机运行时间、电机旋转方向、电源功率、电源占空比、是否显示靶枪选择界面，设置完成后点击保存

### 3.监控页面

![监控画面](./监控画面.png)

<center>图片3-1</center>

可在监控页面实时监测当前腔体气压值变化