了解如何快速上手 融捷磁控溅射上位机的操作 .

融捷磁控溅射页面操作文档

1.生产页面

1.复位:可以消除警报和复位超时判断。

2.暂停:点击后可暂停当前工艺步骤，再次点击即可复位。

3.工艺结束:点击后可结束工艺。

4.抽真空、根据参数设置的开始工艺、设备需要关机时点击关机、放料按钮负责取放料。

2.参数设置

点位控制

可以手动控制设备，开启时为绿色，关闭为蓝色

参数设置

可以设置氩气流量、氧气流量、混合气流量、电机旋转速度、电机运行时间、电机旋转方向、电源功率、电源占空比、是否显示靶枪选择界面，设置完成后点击保存

3.监控页面

可在监控页面实时监测当前腔体气压值变化