了解如何快速上手 实验室300ALD上位机的操作 .

300ALD设备操作文档

一、目录

1.生产：监控各部位运行情况，查看当前工艺时间，执行工艺操作。

2.可以查看工艺步骤，工艺参数，配方保存、导入、导出等功能。

3.设备：获取设备信息，手动控制设备运行，监控设备参数

4.日志：监测设备实时运行状态，查询之前时间报警的具体内容

二、生产界面

1.生产界面

1.打开腔体：点击后腔体会开启

2.关闭腔体：点击后腔体会关闭

3.腔体加热：点击后可以对腔体进行加热

4.暂停：暂停当前工艺

5.急停：停止当前工艺

6.工艺初始化：点击后可进行初始化操作。

7.工艺启动:点击后可进行自动工艺

8.工艺结束:自动工艺执行结束之后，点击工艺结束将会关闭所有的IO点。

2.参数界面

参数设置:执行工艺前手动开启各阀门，配置工艺参数

3.监视界面

可在监控页面实时监测当前腔体气压值变化

三、工艺界面

1.参数页面

1.工艺下拉框

2.参数配置页面

3.保存工艺参数配置到data文件按钮

4.添加参数

2.工序页面

1.工艺运行测试按钮

2.复位:按下后可进行复位

3.暂停：暂停当前工艺

4.急停:点击后可立即停止。

3.配方管理页面

1.当前配置新建配方保存在本地

2.更新当前配方到本地

3.本地配方预览

4.将本地配方导入程序

5.当前程序配方导出

四、设备界面

1.手动点动界面

定位参数：可对位置进行定位，定位移动速度，回原速度操作，也可回原点

2.轴动状态界面

轴添加：添加或更换轴组件

保存配置：将添加或者更换的轴组件进行保存

3.IO监控界面

输出点添加：在界面中配置一个新的信号输出，以便控制和操作。

输入点添加：在界面中配置一个新的信号输入，以便接收和处理外部信息。

保存配置：将配置好的信号进行保存

4.扩展监控界面

监控值：在界面中添加用于监控和控制的参数。

5.警报监控

警报监控添加：监控各种参数和状态

6.板卡配置界面

控制器连接：指控制器与真空成膜设备进行连接

点位文件导入：将预先定义的点位信息（如输入点、输出点、监控值等）从外部文件导入到系统中

五、日志

日志详情：可监测设备实时运行状态

日志检索：可查询之前时间报警的具体内容