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高精度狭缝涂布成膜机系统操作文档

了解如何快速上手高精度狭缝涂布成膜机上位机的操作 .

高精度狭缝涂布标准操作流程

一、高精度狭缝涂布进入步骤

1.软件正确打开操作界面如下图1-1所示。

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图1-1

​ 图1-1

备注:

1.打开文件电脑需插上设备板卡网线才可打开此页面。

二、软件构成

软件主要由以下四部分构成:

1.生产:生产操作界面,可在此界面进行初始化,整机自动运行,单个运行等操作

2.工艺:编辑工艺执行流程,提供配方导入导出功能

3.设备:提供设备手动点动功能,实时监控各轴具体位置速度、IO点位信息等读数

4.日志:程序运行时系统信息实时显示及记录,历史日志检索

5.配方名称:可根据玻璃基片的大小来选择配方的选择

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图2-1

​ 图2-1

三、 操作界面

1:自动模式生产

a) 生产开始时:检查并确认操作机器之间的位置是否有阻挡,且各设备图标显示正确后,点击初始化按钮进入整体初始化,待初始化完成后点击整机启动按钮后可进行自动运行,如图3-1所示。

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图3-1

​ 图3-1

b) 生产完成时:点击“急停”即可

注:自动生产中途如遇紧急情况可按“急停”,点击急停,设备会停止运行,设备工艺会变成“急停中”状态,处于“急停中”的设备工艺无法再次点击启动。此时必须要再次点击“急停”后才能解除急停中状态。

四、 工艺界面

1.工艺程序:

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图4-1

​ 图4-1

工艺步骤:在工艺步骤里面可以对设备里的上料工艺、涂布工艺、成膜工艺、下料工艺步骤可以根据实际需要来自定义选择。

2.工艺程序参数介绍

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图4-2

​ 图4-2

上料参数设置:图4-2可以对上料工艺情况进行参数设置

超时报警时间:可以设置多长时间,如果超过这个时间就会报警提示

料架初始位置:料架开始的位置,

料架步进距离:料架移动的距离

取料电机取料位置:电机取料的时候的位置

取料电机放料位置:电机放料的时候的位置,勾选后将使用该配置

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图4-3

​ 图4-3

下料参数设置:图4-3可以对下料参数工艺情况进行参数设置

超时报警时间:可以设置多长时间,如果超过这个时间就会报警提示

料架初始位置:料架开始的位置,

料架步进距离:料架移动的距离

取料电机取料位置:电机取料的时候的位置

取料电机取料位置:电机放料的时候的位置,勾选后将使用该配置

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图4-4

​ 图4-4

涂布参数设置:图4-4可以对涂布工艺情况进行参数设置

位移传感器读取端口:可读取位移传感器接口

流体阀端口:可读取流体阀端口

测距仪传感器读取端口:可读取测距仪传感器读取端口

超时报警时间:如果超过此时间无操作触发报警

回料的平台位置:平台轴回料的位置

注液轴回料位置:注液轴回料到达的位置

预注液量:注液轴注液时需要的的量

注液轴预注液速度:注液轴预注液时的速度

注液轴工艺速度:注液轴做工艺时的速度

抽液量:注液轴抽液时到达的量

涂布头擦洗的平台位置;平台轴在擦洗时平台所在的位置

平台工艺速度:平台在做工艺时运行的速度

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图片4-5

​ 图片4-5

刮涂基片结束的平台位置:刮涂后基片结束的平台位置

风刀关闭的平台位置:风刀结束后平台所在的位置

平台放基片位置:平台放基片时在的位置

平台取基片位置:平台取基片时的位置

平台刮涂的平台位置:平台在刮涂时平台所在的位置

润刀的平台位置:平台到达所在的位置后开始润刀

润刀涂布头下降位置:润刀涂布头下降到达的位置

润刀量:润刀时候所用量的多少

刮涂润刀速度:刮涂时润刀的速度设置

涂布头擦洗下降位置:涂布头擦洗时下降到达的位置

涂布头擦洗上降位置:涂布头擦洗时上降到达的位置

涂布头对刀位置:涂布头对刀时所在的位置

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图4-6

​ 图4-6

涂布间隙:涂布之间的间隙

抽液阀门:切换到抽液阀门

注液阀门:切换到注液阀门

平台破真空等待时间:平台破真空时等待的时间

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图片4-7

​ 图片4-7

成膜参数设置:图4-5可以对成膜工艺情况进行参数

腔体的真空值:可以监测到当前腔体的真空值

持续时间:到达需要的真空值后可持续多长时间

腔体温度值:可监测到当前腔体的温度值

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图4-6

​ 图片4-8

机械手参数:图4-6可对机械手进行上料到涂布、涂布到成膜、成膜到下料的抓取动作进行动作分解,提供每个步骤的轴号,运动位置,运动速度设置。

夹取位置:可对机械手夹子进行夹取和松开位置进行操作

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图4-7

​ 图片4-9

配方管理:图4-7可以对设置好的工艺步骤及工艺参数进行配方保存,也可进行配方的导入与导出。导出文件为.bdt格式的加密文件。

五:设备

1.设备参数介绍

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图5-1

​ 图片5-1

上料垂直控制:图5-1可对上料垂直控制进行点动和定位

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图5-2

​ 图片5-2

上料取料控制:图5-2可对上料取料控制进行点动和定位

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图5-3

​ 图片5-3

下料垂直控制:图5-3可对下料垂直控制进行点动和定位

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图5-4

​ 图片5-4

下料取料控制:图5-4可对下料取料控制进行点动和定位

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图5-5

​ 图片5-5

夹取水平控制:图5-5可对夹取水平控制进行点动和定位

图5-6

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图片5-6

​ 图片5-6

夹取垂直控制:图5-6可对夹取垂直控制进行点动和定位

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图5-7

​ 图片5-7

夹取控制:图5-7可对夹取控制进行点动和定位

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图5-8

​ 图片5-8

平台轴控制:图5-8可对平台轴控制进行点动和定位

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图5-9

​ 图片5-9

注液轴控制:图5-9可对注液轴进行点动和定位

切换阀门:可切换注液与抽液阀门

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图5-10

​ 图片5-10

刮涂轴控制:图5-10可对刮涂轴进行点动和定位

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图5-11

​ 图片5-11

成膜轴控制:图5-11可对成膜的腔盖轴和平移轴进行正转和反转控

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图5-12

​ 图片5-12

IO点监控:图5-12可以看到各输入输出点是否是打开/关闭状态。

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图5-13

​ 图片5-13

轴状态使能:可以看到各个轴的使能状态是否开启状态。

轴状态操作:可以进行使能的开/关状态和警报的消除

轴位置状态:可以实时看到当前各个轴目前的是否处在限位

轴运动状态:可以实时看到当前各个轴目前的是否处在运动中

轴实时位置:可以实时看到当前各个轴目前的实际位置

轴号和名称:每个轴的编号和所对应的名称

六:日志界面,可查看机台各时间节点的运行情况

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图6-1

​ 图片6-1

日志检索:图6-1可以进行本地日志的检索,日志的内容详情描述。

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图6-2

​ 图片6-2

日志详情:图6-2可以看到上料、涂布、成膜、下料各工艺的实时日志信息,还有整机的基本实时日志信息。