# 真空蒸镀上位机操作文档 了解如何快速上手 **真空蒸镀上位机**的操作 . ## 一、生产页面 ### 1.生产页面 ### 1.软件正确打开操作界面如下图1所示。 ![image-20231102114428720](图片二.png "图1-1") ### 1.生产页面 ![图片二](图片二.png "图片1-1") ​ 图片1-1 1.复位按钮:点击后可进行复位 2.暂停:点击后可暂停当前工艺步骤 3.急停:点击后可停止轴运动 4.出片:点击后可对放在料盘已做好的玻璃片进行取出设备操作 5.进片:点击后可对放入料盘的玻璃运动到工艺腔室操作 6.放料:点击运行完成后可进行换取料操作 7.放真空:点击后可对设备进行自动关设备操作，并泄压变大气真空值 8.抽真空:点击后可对设备进行自动抽真空操作，并自动抽到工艺状态 9.可实时监测当前腔体内实时数值情况 ### 2.参数设置 ![图片三](图片三.png "图片1-2") ​ 图片1-2 点位控制 1.1闸:点击后可对1闸门进行开启和关闭，打开状态会变成绿色 2.2闸:点击后可对1闸门进行开启和关闭，打开状态会变成绿色 3.机械泵1启停:点击后可对白色机械泵进行开启和停止状态，绿色是正在开启运行状态 4.机械泵2启停:点击后可对绿泵进行开启和停止状态，绿色是正在开启运行状态 5.截止阀1:是对白色机械泵和过度腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接过渡腔体 6.截止阀2:是对白色机械泵和工艺腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接工艺腔体 7.截止阀3:是对白色机械泵和工艺腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接工艺腔体 8.尾气阀1:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态 9.尾气阀2:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态 10.尾气阀3:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态 11.分子泵1:点击后可开启运行分子泵1，绿色是正在开启运行状态 12.分子泵2:点击后可开启运行分子泵2,绿色是正在开启运行状态 13.分子泵3:点击后可开启运行分子泵3,绿色是正在开启运行状态 14.分子泵1复位:点击后可对分子泵1运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态 15.分子泵1复位:点击后可对分子泵2运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态 16.分子泵1复位:点击后可对分子泵3运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态 17:插板阀1:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态 18:插板阀2:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态 19:插板阀3:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态 20.旋转气缸1:打开后可进行气缸1旋转,绿色是正在开启运行状态 21.旋转气缸1:打开后可进行气缸2旋转,绿色是正在开启运行状态 22.旋转气缸1:打开后可进行气缸3旋转,绿色是正在开启运行状态 23.旋转气缸1:打开后可进行气缸4旋转,绿色是正在开启运行状态 24.放气阀1:点击后可打开放气阀1进行放气,绿色是正在开启运行状态 25.放气阀2:点击后可打开放气阀2进行放气,绿色是正在开启运行状态 26.放气阀3:点击后可打开放气阀3进行放气,绿色是正在开启运行状态 27.放气阀4:点击后可打开放气阀4进行放气,绿色是正在开启运行状态 28.机械泵放气:点击后可对机械泵管道进行放气,绿色是正在开启运行状态 29.1腔关闭:点击后可对过度腔的盖板进行自动关闭,绿色是正在开启运行状态 30.2腔关闭:点击后可对工艺腔的盖板进行自动关闭,绿色是正在开启运行状态 工艺参数设置 1.可对参数自定义阻抗,密度,比率进行参数设置，设定完成后点击保存 轴动控制 点击后可对传送带和盖板进行手动点动，可实时显示当前位置信息，进行正传和反转，速度可自主调节 蒸发源设置 可对蒸发源进行自主选择，对要使用的蒸发源可选择运行状态，对不用的蒸发源选择待机状态 ### 3.生产控制 ![图片四](图片四.png " 图片1-3") ​ 图片1-3 膜厚仪速率监控:可实时监测膜厚仪的速率检测并显示曲线图中 蒸发源监控:可对4个蒸发源对应的监测实时功率，电流，电压，也可检测膜厚仪速率 功率控制:可检测膜厚仪，蒸发源的电流，可开启工艺运动，可选择材料类型，工艺次数，工艺速度，可显示当前工艺执行次数 阶段性加热:可设置电流的大小，时间多少秒，执行状态是否可以执行(如果时间设为0,代表一直执行) ### 4.监控页面 ![图片五](图片五.png "图片1-4") ​ 图片1-4 可以监控所有阀门的停止和运行画面，可实时页面检测 ### 5.膜厚仪信息 ![图片六](图片六.png " 图片1-5") ​ 图片1-5 可检测六个膜厚仪的速率，膜厚累计，频率输出，晶振片寿命，修改比率，密度，声波阻抗，原材料编号。