真空蒸镀上位机操作文档

了解如何快速上手 真空蒸镀上位机的操作 .

一、生产页面

1.生产页面

1.软件正确打开操作界面如下图1所示。

1.生产页面

​ 图片1-1

1.复位按钮:点击后可进行复位

2.暂停:点击后可暂停当前工艺步骤

3.急停:点击后可停止轴运动

4.出片:点击后可对放在料盘已做好的玻璃片进行取出设备操作

5.进片:点击后可对放入料盘的玻璃运动到工艺腔室操作

6.放料:点击运行完成后可进行换取料操作

7.放真空:点击后可对设备进行自动关设备操作，并泄压变大气真空值

8.抽真空:点击后可对设备进行自动抽真空操作，并自动抽到工艺状态

9.可实时监测当前腔体内实时数值情况

2.参数设置

​ 图片1-2

点位控制

1.1闸:点击后可对1闸门进行开启和关闭，打开状态会变成绿色

2.2闸:点击后可对1闸门进行开启和关闭，打开状态会变成绿色

3.机械泵1启停:点击后可对白色机械泵进行开启和停止状态，绿色是正在开启运行状态

4.机械泵2启停:点击后可对绿泵进行开启和停止状态，绿色是正在开启运行状态

5.截止阀1:是对白色机械泵和过度腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接过渡腔体

6.截止阀2:是对白色机械泵和工艺腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接工艺腔体

7.截止阀3:是对白色机械泵和工艺腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接工艺腔体

8.尾气阀1:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态

9.尾气阀2:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态

10.尾气阀3:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态

11.分子泵1:点击后可开启运行分子泵1，绿色是正在开启运行状态

12.分子泵2:点击后可开启运行分子泵2,绿色是正在开启运行状态

13.分子泵3:点击后可开启运行分子泵3,绿色是正在开启运行状态

14.分子泵1复位:点击后可对分子泵1运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态

15.分子泵1复位:点击后可对分子泵2运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态

16.分子泵1复位:点击后可对分子泵3运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态

17:插板阀1:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态

18:插板阀2:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态

19:插板阀3:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态

20.旋转气缸1:打开后可进行气缸1旋转,绿色是正在开启运行状态

21.旋转气缸1:打开后可进行气缸2旋转,绿色是正在开启运行状态

22.旋转气缸1:打开后可进行气缸3旋转,绿色是正在开启运行状态

23.旋转气缸1:打开后可进行气缸4旋转,绿色是正在开启运行状态

24.放气阀1:点击后可打开放气阀1进行放气,绿色是正在开启运行状态

25.放气阀2:点击后可打开放气阀2进行放气,绿色是正在开启运行状态

26.放气阀3:点击后可打开放气阀3进行放气,绿色是正在开启运行状态

27.放气阀4:点击后可打开放气阀4进行放气,绿色是正在开启运行状态

28.机械泵放气:点击后可对机械泵管道进行放气,绿色是正在开启运行状态

29.1腔关闭:点击后可对过度腔的盖板进行自动关闭,绿色是正在开启运行状态

30.2腔关闭:点击后可对工艺腔的盖板进行自动关闭,绿色是正在开启运行状态

工艺参数设置

1.可对参数自定义阻抗,密度,比率进行参数设置，设定完成后点击保存

轴动控制

点击后可对传送带和盖板进行手动点动，可实时显示当前位置信息，进行正传和反转，速度可自主调节

蒸发源设置

可对蒸发源进行自主选择，对要使用的蒸发源可选择运行状态，对不用的蒸发源选择待机状态

3.生产控制

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膜厚仪速率监控:可实时监测膜厚仪的速率检测并显示曲线图中

蒸发源监控:可对4个蒸发源对应的监测实时功率，电流，电压，也可检测膜厚仪速率

功率控制:可检测膜厚仪，蒸发源的电流，可开启工艺运动，可选择材料类型，工艺次数，工艺速度，可显示当前工艺执行次数

阶段性加热:可设置电流的大小，时间多少秒，执行状态是否可以执行(如果时间设为0,代表一直执行)

4.监控页面

​ 图片1-4

可以监控所有阀门的停止和运行画面，可实时页面检测

5.膜厚仪信息

​ 图片1-5

可检测六个膜厚仪的速率，膜厚累计，频率输出，晶振片寿命，修改比率，密度，声波阻抗，原材料编号。