磁控溅射上位机操作文档

了解如何快速上手 磁控溅射上位机的操作 .

1.生产页面

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1.复位:

2.暂停:点击后可暂停当前工艺步骤

3.急停:点击后可停止轴运动

4.出料:点击后可对放在料盘已做好的玻璃片进行取出设备操作

5.进料:点击后可对放入料盘的玻璃运动到工艺腔室操作

6.工艺(电源3):点击后会开启电源3进行工艺(电源是射频电源)

7工艺(电源2):点击后会开启电源2进行工艺(电源是直流电源)

8.工艺(电源1):点击后会开启电源1进行工艺(电源是直流电源)

9.放真空:点击后可对设备进行自动关设备操作，并泄压变大气真空值

10:点击后可对设备进行自动抽真空操作，并自动抽到工艺状态

11.可实时监测当前腔体内实时数值情况

2.参数设置

​ 图片1-2

点位控制

1.1闸:点击后可对1闸门进行开启和关闭，打开状态会变成绿色

2.2闸:点击后可对1闸门进行开启和关闭，打开状态会变成绿色

3.机械泵1启停:点击后可对白色机械泵进行开启和停止状态，绿色是正在开启运行状态

4.机械泵2启停:点击后可对绿泵进行开启和停止状态，绿色是正在开启运行状态

5.截止阀1:是对白色机械泵和过度腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接过渡腔体,绿色是正在开启运行状态

6.截止阀2:是对白色机械泵和工艺腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接工艺腔体,绿色是正在开启运行状态

7.截止阀3:是对白色机械泵和工艺腔体之间连接的阀门，点击后对机械泵可直接连接工艺腔体,绿色是正在开启运行状态

8.尾气阀1:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态

9.尾气阀2:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态

10.尾气阀3:点击后可对分子泵连接绿泵之间尾气排出,绿色是正在开启运行状态

11.分子泵1:点击后可开启运行分子泵1，绿色是正在开启运行状态

12.分子泵2:点击后可开启运行分子泵2,绿色是正在开启运行状态

13.分子泵3:点击后可开启运行分子泵3,绿色是正在开启运行状态

14.分子泵1复位:点击后可对分子泵1运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态

15.分子泵1复位:点击后可对分子泵2运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态

16.分子泵1复位:点击后可对分子泵3运行遇到报警时进行复位,绿色是正在开启运行状态

17:插板阀1:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态

18:插板阀2:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态

19:插板阀3:是分子泵跟腔体之间的阀门,绿色是正在开启运行状态

20.放气阀1:点击后可打开放气阀1进行放气,绿色是正在开启运行状态

21.放气阀2:点击后可打开放气阀2进行放气,绿色是正在开启运行状态

22.放气阀3:点击后可打开放气阀3进行放气,绿色是正在开启运行状态

23.放气阀4:点击后可打开放气阀4进行放气,绿色是正在开启运行状态

24.机械泵放气:点击后可对机械泵管道进行放气,绿色是正在开启运行状态

25.1腔关闭:点击后可对过度腔的盖板进行自动关闭,绿色是正在开启运行状态

26.2腔关闭:点击后可对工艺腔的盖板进行自动关闭,绿色是正在开启运行状态

参数设置

设定温度:设定工艺腔体的温度

射频出气:连接射频电源对应的靶枪出气

直流电源1功率:直流电源1对应的功率

直流电源2功率:直流电源2对应的功率

误差温度:工艺腔体的温度跟设定的温度误差范围

直流1出气:连接直流电源1对应的靶枪出气

直流电源1脉冲:直流电源1需要的脉冲量

直流电源2脉冲:直流电源2需要的脉冲量

氩气:保持氩气持续流量输入

直流2出气:连接直流电源2对应的靶枪出气

工艺速度:每秒移动多少毫米

射频电源功率:射频电源输出的功率

氧气:保持氧气持续流量输入

工艺次数，设置料盘走多少次数

工艺真空值:真空值到达工艺要求后开始做工艺

预溅射时间:开启靶枪预溅射时间

参数设置

可点动传送带和盖板的定位正负移动，当前位置，可选择定位位置，速度，回原速度使其定位移动，也可回原点

3.监控页面

​ 图片1-3

可在监控页面实时监测到阀门和泵开关情况，工艺腔可监测到当前工艺次数和当前工艺速度，料盘到达传感器位置时，传感器位置会亮，盖板也可监测到当前是打开或关闭状态，闸门竖着表示为关闭状态，旋转90度为打开状态